湖北江城芯片中试服务有限公司获得晶圆夹持固定装置专利有很大成效防止晶圆呈现滑片然后防止损坏

  金融界2024年12月2日音讯，国家知识产权局信息数据显现，湖北江城芯片中试服务有限公司获得一项名为“一种晶圆的夹持固定装置”的专利，授权公告号CN 222071921 U，请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现，本实用新型供给一种晶圆的夹持固定装置，触及半导体制作技术领域，该夹持固定装置包含支架、吸附卡盘和多个夹持顶针，吸附卡盘用于吸附晶圆，且吸附卡盘具有通孔；支架支撑夹持顶针，且夹持顶针可以穿过通孔顶升夹持晶圆；其间，夹持顶针包含支撑部和限位部，支撑部用于支撑晶圆，至少部分限位部的旁边面可以与晶圆的旁边面相触摸，用于夹持晶圆。经过结构的改善可以有很大成效防止晶圆呈现滑片的问题，然后防止晶圆的损坏。

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